AENI等离子体电源亚太(上海/广州/香港)维修中心 www.aeni.com.cn
是全球领先的等离子体电源技术中心,是亚太地区AE(Advanced Energy ),ENI(MKS)产品最专业的维修中心,AE，ENI（MKS）电源产品销售中心
全球首席等离子体电源维修专家,更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之尖端电源的维修和技术服务全球领导者。
● 藉由整合性服务方案提供半导体及光电子行业更完整便捷的设备维修及技术服务。
● 服务产品包括：AE、ENI等国际品牌的直流，中频及RF射频等离子体溅镀电源的维修、保养、调校、升级,二手产品的销售。
● 专家级的技术人员和先进的检测设备，提供更可靠的服务保证。
● 当地化的服务体系，服务方式更灵活，价格更合理。
● 免费提供相同型号电源应急服务,完善的后备零件提供更快的服务响应。
公司主要承担亚太地区AE，ENI（MKS）等国际品牌RF 射频电源及直流电源的维修测试及调校。同时为亚太地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供专家级射频电源维修保养，升级换代工作。 AENI总部设在德国， 在广州,上海、香港等地设有维修中心以及国外的 18 个国家和地区设立了办事处，为全球ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供维修维护服务。
AE,ENI(MKS)等离子体电源(亚太)维修中心竞争优势:
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A、价格低于国际市场20%的维修价格;
B、国际顶尖的RF专家负责维修作业;
C、24小时紧急技术援助服务和2天的快速维修;
D、维修期间免费提供众多的型号应急使用;
E、上海\广州\香港设立维修中心提供当地化的服务体系;
F、完善原厂配件和原厂专家支持和严格遵循ＮＩＳＴ标准;
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公司名称: 德国AENI等离子体电源(亚太）维修中心
广州市伊恩埃半导体技术有限公司
公司地址：广州市白云区机场路18号利好商业大厦909/926室
办公电话：020-86585859 86585709 86389065 86380005 转818
传 真：020-8658-5862
联 系 人：林晓东
联系手机: 13926002999
AE(Advanced Energy)维修目录:
Ion
ID-3500、ID-3501、IT-2500、IT-3500
DC(直流系列):
Ÿ MDX Series: MDX 5、MDX 10、MDX 20、MDX 30、MDX-052、MDX 1K、MDX 1.5K、MDX 500、MDX Delta
Ÿ MDX II Series: MDX II 15kw(15-120KW)
Ÿ PINNACLE Series: Pinnacle 6KW、Pinnacle 12KW、Pinnacle 10KW、Pinnacle 20KW、Pinnacle 8KW、Pinnacle 15KW、PINNACLE 3000
Ÿ PINNACLE PLUS+:Pinnacle Plus+ 5KW、Pinnacle Plus+ Dual output 5KW、Pinnacle Plus+ 10KW
Ÿ DIAMOND Series: Pinnacle Diamond 8KW、Pinnacle Diamond 10KW、Pinnacle Diamond 15KW
Ÿ MDX-L Series: MDX-L6、MDX-L 6KW Halo、MDX-L12、MDX-L
Ÿ SPARC Series: Sparc-le 20、Sparc-le V、Sparc VS
Ÿ E'Wave
Ÿ DC Pulsing Accessoires : DC PULSAR
AC(交流/中频系列):
Ÿ PE: PE 1000、PE 2500、PE 3750、PE 5000、PE-10K、PE-20K、PE-30K、PE-1000SG
Ÿ PE II：PE II 5KW、PE II 10KW、PE II 60KW
Ÿ PDX：PDX 500、PDX 900-2V、PDX 1250、PDX 1400、PDX 2500、PDX 5000、PDX 7.5K、PDX 8000、PDZ 2200、MSD 350W
Ÿ PDW 600、PDW 2200
Ÿ PDP 2500、PDP 3500
Ÿ PEP 250、PEP 2500、PEP 5000
Ÿ Dressler LFGS:LFGS
RF（射频系列）：
Ÿ RFG：RFG 80、RFG 1250、RFG 1250 HALO、RFG 1251、RFG 3000、RFG 3001、RFG 5500、RFG 2K-2V、
Ÿ RFDS 1250、RFDS 1250-A、RFDS 3000、RFDS 2Kw-2KV
Ÿ APEX：Apex 1513、Apex 2027、Apex 3013、Apex 4027、Apex 5513、Apex 7kW/13、Apex 10kW/13、Apex 3513、Apex 10013、Apex 8013
Ÿ Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013、Atlas 2504、Atlas 2027、Atlas 2012、Atlas 4012、Atlas 5002、Atlas 5012、Atlas 5013、Atlas 5027、Rapid F
Ÿ RFX：RFX 600、RFX
Ÿ RFX II：RFX II 1250、RFX II 3000、RFX II 5500
Ÿ HFG：HFG 2500、HFG 5000、HFG
Ÿ HFV：HFV-3K、HFV-5K、HFV-8K、HFV-L 3KW
Ÿ Ovation VHF:VHF-2760W、VHF-2060、VHF-2560、VHF-35162
Ÿ ICP Generator:ICP-1KW、ICP-1.5KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW
Ÿ Dressler HPG:HPG 03300、HPG 13150、HPG 13300、HPG 27300
Ÿ Dressler Cesar: Cesar 0210、Cesar 0220(200v/400v)、Cesar 0225(200v/400v)、Cesar 0230(200v/400v)、Cesar 0250(200v/400v)、Cesar 026、Cesar 0410、Cesar 0420(200v/400v)、Cesar 0425(200v/400v)、Cesar 0450(200v/400v)、Cesar 046、Cesar 1310、Cesar 1312、Cesar 1320(200v/400v)、Cesar 1325(200v/400v)、Cesar 133、Cesar 1330(200v/400v)、Cesar 1350(200v/400v)、Cesar 136、Cesar 2710、Cesar 2720(200v/400v)、Cesar 273、Cesar 2740(200v/4000v)、Cesar 276、Cesar 4010、Cesar 4020(200v/400v)、Cesar 403、Cesar 4040(200v/400v)、Cesar 405、Cesar 6010、Cesar 6020(200v/400v)、Cesar 603、Cesar 605
RFPP(Advanced Energy) RF系列：
Ÿ RF-5S 250/500W、RF-10、RF-10S、RF-20、RF-20S、RF-25、RF-30S、RF-30H、RF-35、RF-40、RF-50、RF-50S、RF
Ÿ LF-5、LF-10、LF-20、LF-30、LF-50、
Ÿ HF-5、HF-10、HF-100、HF-150
Match Networks（匹配网络）：
Ÿ AL-10、AL-15
Ÿ AM-5、AM-10、AM-20、AM-25、AM-30、AM-35、AM-40、AM-50、AM-100、AM-150、AM-250、AM-300、AMU10E-2、AMN-2000、AMNPS
Ÿ ATX-600、ATX-1250、ATX-2500、ATL-100
Ÿ AZX-10、AZX-40、AZX-63、AZX-72、AZX-90、AZX-Dome
Ÿ Navigator 640、Navigator 1013、Navigator 1013-P15、Navigator 1013-L35、Navigator 2502、
Navigator 3013、Navigator 3013-ICP、Navigator 4027、Navigator 4040、Navigator 5060、
Navigator 5513、Navigator Dual 5513-2060、Navigator Dual 5513-5502、
Navigator 5513-L80、Navigator 5513-T150、Navigator 7013-L90、Navigator 10013、Navigator 10013-L140、Navigator 25013、Navigator 25027、Navigator 2040、Navigator 2060
Ÿ VZX-5000、VZX-9100
Ÿ TL-5、TL-10、TL-15
Ÿ LM-5、LM-10、LM-30、LM 8000、LM-IPX、LM Others
Ÿ Mercury 1K、Mercury 2K、Mercury 3K、Mercury 10K
Ÿ ICP-1KW、ICP-1.6KW、ICP-2KW、ICP-5KW
Ÿ P.5000、FTMS-2KW、MFA Series、FM Series、SFM Series
Ÿ Dressler VM:VM 0415-AW、VM 0450 W-ICP、VM
ENI(MKS)电源维修目录:
ENI(MKS) DC(直流电源)
Ÿ DCG Series:DCG-75、DCG-75E、DCG-100、DCG-100Z、DCG-100E、DCG-150、DCG-150E、DCG-200、DCG-200Z、DCG-400、DCG-600
Ÿ RPG Series:RPG-50、RPG-100、RPG-200、Polara
Ÿ OPTIMA Series:OPT-50、OPT-100、OPT-200、OPT-400、OPT-600
ENI(MKS) RF(射频系列)
Ÿ DPG(RPDG) Series:DPG-10-05、DPG-10
Ÿ ACG Series:ACG-3、ACG-3B、ACG-5、ACG-6、ACG-6B、ACG-10、ACG-10B、
Ÿ OEM Series:OEM-6、OEM
Ÿ SPECTRUM Series:B-1513、B-3013、B-10013、B-10002、B-5002、B-11002、B-5513Z、B-10513
Ÿ SUREPOWER Series:QL-3513、QL-6513、QL-10513、QL-13013
Ÿ GENESIS(GHW、GMW、GEW、VHF)Series:GHW-12、GHW-25、GHW-50、GHW-80、GHW-2527、GHW-3040、GHW
Ÿ NOVA Series:NOVA
Ÿ RACK Series :RACK-AM-300
Ÿ OTHERS：DPGS-10、DPGD-10、LPG
ENI(MKS) 匹配网络
Ÿ D Series:MW-5D、MW-10D MW-5D-01B、MW-5DM12、MW-25D
Ÿ LD Series:MWD-25LD、MWD-55LD
Ÿ H Series;MWH-5、MWH-25、MWH-100
Ÿ M Series:MWM-25
Ÿ DUAL Series:MW2-30
Ÿ OTHERS:MH
