AE / RFPP RF Generator Repair (PE,PEII,PDX)
详细描述
PDX® 中频电源系列
PDX® 系列小功率(1250和1400 W)及大功率(5000和8000 W)中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性,提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制,确保较高的工艺重复性,并提高了吞吐量。
PDX® 1250
规格:
●输出功率:18-1250W
●频率:325-450KHz
●反向功率:250W max
●输入电压:180-253VAC,50/60HZ,1Φ
●输入电流:15A RMS max
●最大输出电压:300V
●最大输出电流:6A
●冷却方式:强制风冷
●尺寸:89×483×483mm(高×宽×长)
●重量:<14KG
PDX® 1400
规格:
●输出功率:25-1400W
●频率:235-305KHz
●反向功率:280W max
●输入电压:180-230VAC,50/60HZ,3Φ
●输入电流:15A RMS max
●最大输出电压:300V
●最大输出电流:6A
●冷却方式:强制风冷
●尺寸:89×483×483mm(高×宽×长)
●重量:<14KG
PDX® 5000
规格:
●输出功率:100-5000W
●频率:330-460kHz
●反向功率:1500W
●输入电压:180-230VAC,50/60HZ,3Φ
●输入电流:18A
●最大输出电压:735V
●最大输出电流:14.9A
●运行环境:5-30℃
●冷却方式:水冷2gpm @0-30℃
●尺寸:178×483×508(高×宽×长)
●重量:41KG
PDX® 8000
规格:
●输出功率:100-8000W
●频率:340-440kHz
●反向功率:1500W
●输入电压:180-230VAC,50/60HZ,3Φ
●输入电流:29A
●最大输出电压:735V
●最大输出电流:14.9A
●运行环境:5-30℃
●冷却方式:水冷2gpm @0-30℃
●尺寸:178×483×508(高×宽×长)
●重量:41KG
PEII 低频系列
PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出,具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率,该系列电源具有极宽的匹配阻抗,无输出变压器等外部组合硬件,特别适用于反应溅射。
优点
●恒功率、电压或电流输出
●最高的灵活性与模块性
●强大的电弧控制
●自动制程保护装置
●极宽的祖抗匹配范围
●高功率密度
PEII 5000
●输入电压:180-230VAC,3Φ(接地)
●输出频率:40kHz±0.01%
●输出功率:5000W
●输出电压:547V RMS nominal in tap 4;953V RMS max in tap 7
●输出电流:9A RMS nominal in tap 4;16A RMS max in tap 1
●冷却方式:水冷,5-30℃,2gpm
●尺寸:177×482.6×495.3mm(高×宽×长)
●重量:40.8KG
PEII 10K
●输入电压:180-230VAC,3Φ(接地)
●输出频率:40kHz±0.01%
●输出功率:5000W
●输出电压:547V RMS nominal in tap 4;953V RMS max in tap 7
●输出电流:18 A RMS nominal in tap 4;32A RMS max in tap 1
●冷却方式:水冷,5-30℃,2gpm
●尺寸:177×482.6×495.3mm(高×宽×长)
●重量:40.8KG
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