AE / RFPP RF Generator Repair （PE,PEII,PDX）
详细描述
PDX® 中频电源系列
PDX® 系列小功率（1250和1400 W）及大功率（5000和8000 W）中频电源为各种广泛的工艺应用提供一种高效、紧凑、易于整合的电源。这些高度可靠的电源提高了工艺灵活性，提供广泛的运行频率范围以优化工艺控制，确保较高的工艺重复性，并提高了吞吐量。
PDX® 1250
规格：
●输出功率：18-1250W
●频率：325-450KHz
●反向功率：250W max
●输入电压：180-253VAC，50/60HZ，1Φ
●输入电流：15A RMS max
●最大输出电压：300V
●最大输出电流：6A
●冷却方式：强制风冷
●尺寸：89×483×483mm（高×宽×长）
●重量：＜14KG
PDX® 1400
规格：
●输出功率：25-1400W
●频率：235-305KHz
●反向功率：280W max
●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ
●输入电流：15A RMS max
●最大输出电压：300V
●最大输出电流：6A
●冷却方式：强制风冷
●尺寸：89×483×483mm（高×宽×长）
●重量：＜14KG
PDX® 5000
规格：
●输出功率：100-5000W
●频率：330-460kHz
●反向功率：1500W
●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ
●输入电流：18A
●最大输出电压：735V
●最大输出电流：14.9A
●运行环境：5-30℃
●冷却方式：水冷2gpm @0-30℃
●尺寸：178×483×508（高×宽×长）
●重量：41KG
PDX® 8000
规格：
●输出功率：100-8000W
●频率：340-440kHz
●反向功率：1500W
●输入电压：180-230VAC，50/60HZ，3Φ
●输入电流：29A
●最大输出电压：735V
●最大输出电流：14.9A
●运行环境：5-30℃
●冷却方式：水冷2gpm @0-30℃
●尺寸：178×483×508（高×宽×长）
●重量：41KG
PEII 低频系列
PEII 低频系列电源提供40 kHz 脉冲输出，具有增强的弧控制以及与高达60 kW 的输出功率，该系列电源具有极宽的匹配阻抗，无输出变压器等外部组合硬件，特别适用于反应溅射。
优点
●恒功率、电压或电流输出
●最高的灵活性与模块性
●强大的电弧控制
●自动制程保护装置
●极宽的祖抗匹配范围
●高功率密度
PEII 5000
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：5000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG
PEII 10K
●输入电压：180-230VAC，3Φ（接地）
●输出频率：40kHz±0.01%
●输出功率：5000W
●输出电压：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7
●输出电流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1
●冷却方式：水冷，5-30℃，2gpm
●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×宽×长）
●重量：40.8KG
免责声明：以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。电源在线对此不承担任何保证责任。
