AE RF Generator Repair
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AE(Advanced Energy) RF电源
Paramount™ 射频功率输送系统
这款半机架的3kW 的 Paramount™ 射频 (RF) 功率输送系统拥有更强的功率和阻抗测量性能，能够在 13.56MHz 固定或可变频率、50欧姆和非50欧姆负载下（电压驻波比 (VSWR) 超过3:1），为您带来出色的输送功率精度和控制性能。能够与最突然变化的等离子阻抗保持实时同步，Paramount 射频功率输送系统能为新一代技术节点带来更快的转换速度、更少的制程步骤以及更短的制程时间。其阻抗测量精度可与网络分析仪的水平相媲美，而可选频率的调谐几乎可以瞬间实现（达到毫秒数量级），其速度较市场上的任何其它产品都快。从而实现真正卓越的精确性、可重复性和对制程的控制。
Apex® 射频供电系统
通用 Apex® 系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。Apex 平台在针对半导体、平板显示器或数据存储制造以等离子为基础的薄膜工艺中表现优异。
HFV® 变频 (~2 MHz) 电源
灵活的 HFV® 电源主要用作200和300 mm 晶圆制程、平板显示器和 DVD 设备的等离子发生器，为离子化物理气相沉积 (IPVD)、CVD 和蚀刻提供了工艺一致性。这种通用电源的特点有数字合成变频输出和微处理器控制，输出功率电平为3、5和8 kW。此外，其输出频率范围为1.765-2.165 MHz。固件上的频率调谐参数可进行定制，以确保在各种真空室结构和工艺方法下的可重复运行。
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AE(Advanced Energy) 维修案例 RF/高频电源 Apex-7kW/13 
