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目前中国科学院广州能源研究所太阳能实验室承担的国家“863”项目“颗粒硅带衬底上多晶硅薄膜电池的研制”在颗粒硅带衬底制备方面取得了新的进展。多晶硅薄膜电池对衬底的要求是非常苛刻的,它不仅要求衬底满足与硅的化学相熔性好、热膨胀系数匹配,而且还要求衬底表面平整、光滑以适于随后的电池制备过程。 近来,太阳能实验室相关科研人员通过对原来颗粒硅带制备工艺的优化,在实验室内成功地制备出表面质量较好的颗粒硅带,制备的颗粒硅带表面光滑而且平整,非常适合多晶硅薄膜的外延和薄膜电池制备过程。下阶段的研究工作将进一步围绕多晶硅薄膜电池器件的制备展开。 |
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