中国LED专利突破 MOCVD设备量产

    在LED高端设备中，MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备，因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因，市场一直被欧美企业垄断。

    虽然我国逐渐在LED外延芯片与封装在规模与素质上都取得重大成就，产品国产化比例显著提升，但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口，生产成本居高不下，严重制约着LED产业发展。

    近日，具有国际尖端技术水平的国内首台MOCVD（金属有机化学气相沉积设备）设备在正泰集团上海张江理想能源设备有限公司成功下线，并与世界知名的台资龙头企业签约。此举打破了高亮度LED芯片设备生产长期被欧美企业垄断的局面，使重大装备国产化迈出坚实一步。

    2010年9月，理想能源启动MOCVD项目，在短短两年时间里，设计开发出具有自主知识产权的MOCVD设备，并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装，成功地实现GaN基LED外延片的发光。

    经过设备原型机近一年的运行证明，其性能达到甚至超过预定指标，并于2012年5月通过上海市科委验收。依据工艺验证结果和客户反馈，在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备，单腔一次可生产84片2英寸外延片，超过主流进口设备。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升，并已申请20项国内外专利。<