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ENI/MKS RF电源

Spectrum®RF电源
Spectrum®系列RF电源包括了1.5、3.0、5.0和10kW功率的高频电源。Spectrum系列的特点是紧凑和模块化、易于升级，具有精确的电源控制能力和±1℅的精度，高可靠性以及杰出的RF功率密度。可选配图形用户接口和0－1kHz脉冲调制。推荐的Spectrum 系列电源的选配件有（需另外定购）：外接的模拟型或数字型接口。

Genesis系列RF电源
Genesis系列RF发生器可用于高可靠性的刻蚀工艺、CVD和PVD工艺中。该系列产品的频率涵盖了低频到高频，功率从1250 W到8500 W。基于数字信号处DSP的功率控制系统能够检测内部子系统的状态，并配有内建的诊断和自动防故障的存储器件。

ACG系列RF电源
ACG系列是低功率的、频率为13.56 MHz的RF发生器。ACG系列RF等离子RF发生器是基于微处理器、轻便紧凑型设备，带有载荷失配保护装置，具有杰出的稳定性。ACG的功率范围涵盖了300W到1000W。

OEM系列RF电源
OEM系列是由微处理器控制的、水冷的线性RF发生器，可用于半导体领域。它以杰出的可靠性和高RF稳定性而著称。600W到2.8kW的功率输出，输出波动为全量程的±1℅,频率:13.56 MHz,输入电源：208∨或380∨三相交流电，50∕60 Hz.

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